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产品中心

PRODUCT CENTER

半导体设备

Semiconductor Equipment

晶圆混合键合设备-3DSIXI‍	Wafer Hybrid Bonder-3DSIXI‍
晶圆熔融键合设备‍	Wafer Fusion Bonder‍
单片式湿法设备‍	Single Wafer Wet‍
涂胶显影设备‍	Coater & Developer‍
去胶机‍	Asher‍

自动化设备

Automation Equipment

晶圆包装一体机‍	Wafer Packer‍
晶圆FOUP/FOSB拆包机‍	Wafer Unpacker‍
8/12寸设备前端模块‍	8"/12" EFEM‍
4/6寸设备前端模块及倒片机‍	4"/6" EFEM&Sorter‍
4/6/8寸设备前端模块及倒片机‍	4"/6"/8" EFEM&Sorter‍

零部件

机器人	Robot‍
‍静电卡盘‍‍	Electrostatic Chuck
热电偶‍	Thermocouple
‍化学过滤器‍	Chemical Filter
晶圆载具‍‍	Horizontal Wafer Shipper

技术服务

Technical Service

用户工厂及终端用户工厂内作业	Operation in user and end user factory
终端客户工厂内Hook UP	Hook UP in end customer factory
FPD真空ARM O/H	FPD vacuum ARM O/H
‍FPD Dry Etch设备PM‍	FPD Dry Etch Equipment PM‍
FPD Dry Etch Gate 维修‍‍	FPD Dry Etch Gate Maintain‍

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